19亿元,这是如今全球最贵电子设备的价格,它就是全球最大的光刻机供应商ASML先手的NA 0.55高数值孔径EUV光刻机的价格,而购买者则是大名鼎鼎的英特尔。

  

世界上最贵的电子硬件设备 单价要19亿 世界最贵 电子硬件设备 第1张


  在当前NA 0.33的EUV光刻机中,英特尔动作慢了,被台积电、三星抢先,因此,在下一代NA 0.55的EUV光刻工艺中,英特尔不允许同样的错误再次发生,这一次要抢先三星台积电下单,也会抢先量产20A及18A工艺,首次进入埃米级工艺节点。

  

世界上最贵的电子硬件设备 单价要19亿 世界最贵 电子硬件设备 第2张


  基于此,4年来英特尔实际上已经下单了6台NA 0.55的EUV光刻机,其中分为两种,Twinscan Exe:5000系列主要用于工艺研发,产能输出是185WPH,每小时生产185片晶圆,2023年上半年交付。

  量产型的NA 0.55光刻机是Twinscan Exe:5200,产能提升到200WPH,每小时200片晶圆,预计会在2024年下线。